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半导体碳化硅(SiC) 关键设备和材料技术进展的详解； - 知乎专栏
Web 结果2024年2月18日 东莞南方半导体科技有限公司 品质主管. 从SiC衬底、外延、芯片到模块,涉及单晶、切磨抛、外延、离子注入、热处理等关键装备,随着整体市场的蓬勃发 半导体碳化硅(SiC) 关键设备和材料技术进展的详解； - 知乎专栏Web 结果2024年2月18日 东莞南方半导体科技有限公司 品质主管. 从SiC衬底、外延、芯片到模块,涉及单晶、切磨抛、外延、离子注入、热处理等关键装备,随着整体市场的蓬勃发
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打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力 ...
Web 结果11 小时之前 PVA TePla亮相SEMICONChina2024. “作为PVA TePla在华打造的首款国产碳化硅晶体生长设备，‘SiCN’旨在帮助我们更好地满足本土化需求，为中国市场 打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力 ...Web 结果11 小时之前 PVA TePla亮相SEMICONChina2024. “作为PVA TePla在华打造的首款国产碳化硅晶体生长设备，‘SiCN’旨在帮助我们更好地满足本土化需求，为中国市场
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多达数十家，SiC关键设备企业图谱 - 知乎
Web 结果2024年2月18日 就生产流程而言，碳化硅粉末需要经过长晶形成晶碇，再经过切片、打磨和抛光等一系列步骤方可制成碳化硅衬底；衬底通过外延生长形成外延片；外延 多达数十家，SiC关键设备企业图谱 - 知乎Web 结果2024年2月18日 就生产流程而言，碳化硅粉末需要经过长晶形成晶碇，再经过切片、打磨和抛光等一系列步骤方可制成碳化硅衬底；衬底通过外延生长形成外延片；外延
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行 业 研 机械设备 关注碳化硅设备国产化突破和加速 究 2023 ...
Web 结果2023年2月26日 年国内纳米银烧结设备市场规模为30 亿元。受益标的：（1）宇环数控：国内稀 缺的高端数控机床研发制造企业，以超硬材料机加工核心技术为基，切入 行 业 研 机械设备 关注碳化硅设备国产化突破和加速 究 2023 ...Web 结果2023年2月26日 年国内纳米银烧结设备市场规模为30 亿元。受益标的：（1）宇环数控：国内稀 缺的高端数控机床研发制造企业，以超硬材料机加工核心技术为基，切入
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机械设备行业周报：关注碳化硅设备国产化突破和加速-研究 ...
Web 结果2023年2月27日 国内碳化硅IDM厂商三安光电，衬底厂商天岳先进、露笑科技、东尼电子、北京天科，器件厂商士兰微、华润微电子、燕东微电子等加速扩产，而设备是 机械设备行业周报：关注碳化硅设备国产化突破和加速-研究 ...Web 结果2023年2月27日 国内碳化硅IDM厂商三安光电，衬底厂商天岳先进、露笑科技、东尼电子、北京天科，器件厂商士兰微、华润微电子、燕东微电子等加速扩产，而设备是
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碳化硅研磨桶，碳化硅盖板/封环，碳化硅喷火嘴,潍坊
Web 结果2022年11月29日 Product center. 产品中心. 碳化硅研磨桶 碳化硅陶瓷板 碳化硅喷火嘴 碳化硅辊棒 碳化硅脱硫喷嘴 碳化硅方梁、横梁、辊棒 无压烧结碳化硅制品 氧化铝制品. sic研磨桶. 碳化硅研磨桶. 碳化硅 碳化硅研磨桶，碳化硅盖板/封环，碳化硅喷火嘴,潍坊 Web 结果2022年11月29日 Product center. 产品中心. 碳化硅研磨桶 碳化硅陶瓷板 碳化硅喷火嘴 碳化硅辊棒 碳化硅脱硫喷嘴 碳化硅方梁、横梁、辊棒 无压烧结碳化硅制品 氧化铝制品. sic研磨桶. 碳化硅研磨桶. 碳化硅
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纳米碳化硅的制备与应用研究进展
Web 结果2023年9月20日 纳米碳化硅(SiC)材料因具有耐磨、耐腐蚀、强度高、高热导等优良的物理与化学性质而备受关注,其作为多功能材料可广泛用于国防、航空、汽车工业、 纳米碳化硅的制备与应用研究进展Web 结果2023年9月20日 纳米碳化硅(SiC)材料因具有耐磨、耐腐蚀、强度高、高热导等优良的物理与化学性质而备受关注,其作为多功能材料可广泛用于国防、航空、汽车工业、
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主要设备和仪器----国家纳米科学中心 - CAS
Web 结果主要设备和仪器. 1. 电子束曝光设备 ( EBL) 、 紫外光刻设备 ( UVL) 、 纳米压印设备. (联系人：董凤良 82545831 82545557 南楼227) 2. 电子束蒸发镀膜 (EBE) 、 主要设备和仪器----国家纳米科学中心 - CASWeb 结果主要设备和仪器. 1. 电子束曝光设备 ( EBL) 、 紫外光刻设备 ( UVL) 、 纳米压印设备. (联系人：董凤良 82545831 82545557 南楼227) 2. 电子束蒸发镀膜 (EBE) 、
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纳米碳化硅_百度百科
Web 结果中文名. 纳米碳化硅. 化学符合. SiC. 抗辐射能力. 强. 运用于. 复合材料. 特 点. 纯度高，粒径小，分布均匀. 目录. 1 简介. 2 特点介绍. 3 用途. 简介. 播报. 编辑. SiC纳米材料具有高的禁带宽度，高的临界击穿电场 纳米碳化硅_百度百科Web 结果中文名. 纳米碳化硅. 化学符合. SiC. 抗辐射能力. 强. 运用于. 复合材料. 特 点. 纯度高，粒径小，分布均匀. 目录. 1 简介. 2 特点介绍. 3 用途. 简介. 播报. 编辑. SiC纳米材料具有高的禁带宽度，高的临界击穿电场
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碳化硅设备行业深度报告：多技术并行，衬底切片设备
Web 结果2023年4月26日 碳化硅设备行业深度报告：多技术并行，衬底切片设备加速国产化. 未来智库，智造未来！. 1. 碳化硅高性能+低损耗，产业化受制于衬底产能. 1.1. 半导体材料更迭四代，宽禁带材料突破瓶 碳化硅设备行业深度报告：多技术并行，衬底切片设备 Web 结果2023年4月26日 碳化硅设备行业深度报告：多技术并行，衬底切片设备加速国产化. 未来智库，智造未来！. 1. 碳化硅高性能+低损耗，产业化受制于衬底产能. 1.1. 半导体材料更迭四代，宽禁带材料突破瓶
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本土超20条碳化硅晶圆产线大盘点！ - 知乎专栏
Web 结果2021年10月15日 根据调研报告披露，合肥碳化硅项目一期100台设备已经完成出厂调试，预计7月底在合肥工厂完成安装调试；衬底片已通过多家第三方单位的测试，已达到了P级标准。随着衬底加工设备、 本土超20条碳化硅晶圆产线大盘点！ - 知乎专栏Web 结果2021年10月15日 根据调研报告披露，合肥碳化硅项目一期100台设备已经完成出厂调试，预计7月底在合肥工厂完成安装调试；衬底片已通过多家第三方单位的测试，已达到了P级标准。随着衬底加工设备、
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展商快讯 西安博尔：生产高品质碳化硅(SiC)微粉的国
Web 结果2021年4月1日 西安博尔新材料有限责任公司（展位号：B155）是一家专门从事高品质碳化硅(SiC)微粉及其下游制品研发、生产、销售的国家级高新技术企业，自主发明工业化生产的立方碳化硅(β-SiC)等产 展商快讯 西安博尔：生产高品质碳化硅(SiC)微粉的国 Web 结果2021年4月1日 西安博尔新材料有限责任公司（展位号：B155）是一家专门从事高品质碳化硅(SiC)微粉及其下游制品研发、生产、销售的国家级高新技术企业，自主发明工业化生产的立方碳化硅(β-SiC)等产
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纳米碳化硅的制备与应用研究进展
Web 结果2023年9月20日 摘 要. 纳米碳化硅(SiC)材料因具有耐磨、耐腐蚀、强度高、高热导等优良的物理与化学性质而备受关注,其作为多功能材料可广泛用于国防、航空、汽车工业、化工、机械工业、电子工业和生物陶瓷等领域。. 本文在国内外相关文献的基础上,重点介绍了纳米SiC 的 ... 纳米碳化硅的制备与应用研究进展Web 结果2023年9月20日 摘 要. 纳米碳化硅(SiC)材料因具有耐磨、耐腐蚀、强度高、高热导等优良的物理与化学性质而备受关注,其作为多功能材料可广泛用于国防、航空、汽车工业、化工、机械工业、电子工业和生物陶瓷等领域。. 本文在国内外相关文献的基础上,重点介绍了纳米SiC 的 ...
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行 业 研 机械设备 关注碳化硅设备国产化突破和加速 究 2023 ...
Web 结果2023年2月26日 缺的高端数控机床研发制造企业，以超硬材料机加工核心技术为基，切入碳化硅 研磨设备。（2）快克股份：深耕微电子封装三十年，在二级封装锡焊设备领域国 内第一、全球领先，向上切入一级封装，纳米银烧结设备将打破海外垄断。 行 业 研 机械设备 关注碳化硅设备国产化突破和加速 究 2023 ...Web 结果2023年2月26日 缺的高端数控机床研发制造企业，以超硬材料机加工核心技术为基，切入碳化硅 研磨设备。（2）快克股份：深耕微电子封装三十年，在二级封装锡焊设备领域国 内第一、全球领先，向上切入一级封装，纳米银烧结设备将打破海外垄断。
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纳米碳化硅_百度百科
Web 结果1、纳米碳化硅粉体具有纯度高、粒径分布范围小、高比表面积等特点；. 2、本产品具有化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性能好等特点；3、显微硬度为2840～3320kg/mm2, 其硬度介于刚玉和金刚石之间, 机械强度高于刚玉；. 4、纳米碳化硅具有优良的 ... 纳米碳化硅_百度百科Web 结果1、纳米碳化硅粉体具有纯度高、粒径分布范围小、高比表面积等特点；. 2、本产品具有化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性能好等特点；3、显微硬度为2840～3320kg/mm2, 其硬度介于刚玉和金刚石之间, 机械强度高于刚玉；. 4、纳米碳化硅具有优良的 ...
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工艺详解碳化硅晶片的工艺流程 - 知乎
Web 结果2020年12月8日 01 切割. 切割是将SiC晶棒沿着一定的方向切割成晶体薄片的过程 。. 将SiC晶棒切割成翘曲度小、厚度均匀、低切损的晶片，对于后续的研磨和抛光至关重要。. 与传统的内圆、外圆切割相比，多线切割具有大切削速度、高加工精度、高效率和较长的寿命等优点，已 ... 工艺详解碳化硅晶片的工艺流程 - 知乎Web 结果2020年12月8日 01 切割. 切割是将SiC晶棒沿着一定的方向切割成晶体薄片的过程 。. 将SiC晶棒切割成翘曲度小、厚度均匀、低切损的晶片，对于后续的研磨和抛光至关重要。. 与传统的内圆、外圆切割相比，多线切割具有大切削速度、高加工精度、高效率和较长的寿命等优点，已 ...
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一文详解精密光学加工及先进光学制造技术发展趋势 - 知乎
Web 结果2023年5月15日 精密光学加工发展趋势. 现代光学制造正在由一门技艺迅速发展为研究各种光学制造过程和方法的科学。. 光学制造科学与其他工程科学，尤其是与机械制造科学密切相关，学科领域互相交叉渗透。. 在高技术发展的前沿，光学工程的精密化已成为主流，超精密 ... 一文详解精密光学加工及先进光学制造技术发展趋势 - 知乎Web 结果2023年5月15日 精密光学加工发展趋势. 现代光学制造正在由一门技艺迅速发展为研究各种光学制造过程和方法的科学。. 光学制造科学与其他工程科学，尤其是与机械制造科学密切相关，学科领域互相交叉渗透。. 在高技术发展的前沿，光学工程的精密化已成为主流，超精密 ...
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我想了解一下碳化硅的生产工艺？ - 知乎
Web 结果2021年12月24日 如赵争鸣教授强调的那样，SiC器件的快速发展将经历从理想优势到应用效益的转变，人们先是期待获得高频、高压、高温等优异的特性，也得到了一些好处，效率提高很多，但也发现了大量问题，在实际现场大规模使用SiC MOSFET仍处在一个两难的阶段。. 因此，要 ... 我想了解一下碳化硅的生产工艺？ - 知乎Web 结果2021年12月24日 如赵争鸣教授强调的那样，SiC器件的快速发展将经历从理想优势到应用效益的转变，人们先是期待获得高频、高压、高温等优异的特性，也得到了一些好处，效率提高很多，但也发现了大量问题，在实际现场大规模使用SiC MOSFET仍处在一个两难的阶段。. 因此，要 ...
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主要设备和仪器----国家纳米科学中心 - CAS
Web 结果主要设备和仪器. 1. 电子束曝光设备 ( EBL) 、 紫外光刻设备 ( UVL) 、 纳米压印设备. 2. 电子束蒸发镀膜 (EBE) 、 DC/RF 磁控溅射镀膜 、 ICPECVD 沉积镀膜. 3. 高密度等离子体 ICP 硅刻蚀机 、 高密度等离子体 ICP 金属刻蚀机 、 反应离子刻蚀机 ( RIE) 、 等离子去胶机. 4. 主要设备和仪器----国家纳米科学中心 - CASWeb 结果主要设备和仪器. 1. 电子束曝光设备 ( EBL) 、 紫外光刻设备 ( UVL) 、 纳米压印设备. 2. 电子束蒸发镀膜 (EBE) 、 DC/RF 磁控溅射镀膜 、 ICPECVD 沉积镀膜. 3. 高密度等离子体 ICP 硅刻蚀机 、 高密度等离子体 ICP 金属刻蚀机 、 反应离子刻蚀机 ( RIE) 、 等离子去胶机. 4.
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纳米加工技术_百度百科
Web 结果纳米加工技术是一门新兴的综合性加工技术。它集成了现代机械学、光学、电子、计算机、测量及材料等先进技术成就，使得加工的精度从20世纪60年代初的微米级提高到目前的10nm级，在短短几十年内 纳米加工技术_百度百科Web 结果纳米加工技术是一门新兴的综合性加工技术。它集成了现代机械学、光学、电子、计算机、测量及材料等先进技术成就，使得加工的精度从20世纪60年代初的微米级提高到目前的10nm级，在短短几十年内
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半导体碳化硅(SiC) 关键设备和材料技术进展的详解； - 知乎专栏
Web 结果2024年2月18日 一、SiC 单晶生长设备. SiC PVT生长设备是国产化较高的设备,其难点在于需要解决SiC晶体生长难度大、重复性低、生长良率低、长晶工艺各不相同以及设备高度定制化等挑战，未来设备技术将朝着自动化、高工艺重复性、提升晶体生长良率和厚度以及8时大直径长晶 ... 半导体碳化硅(SiC) 关键设备和材料技术进展的详解； - 知乎专栏Web 结果2024年2月18日 一、SiC 单晶生长设备. SiC PVT生长设备是国产化较高的设备,其难点在于需要解决SiC晶体生长难度大、重复性低、生长良率低、长晶工艺各不相同以及设备高度定制化等挑战，未来设备技术将朝着自动化、高工艺重复性、提升晶体生长良率和厚度以及8时大直径长晶 ...
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国内外碳化硅陶瓷材料研究与应用进展 CERADIR 先进陶瓷在线
Web 结果2022年4月24日 国内外碳化硅陶瓷材料研究与应用进展. 李辰冉;谢志鹏;康国兴;安迪;魏红康;赵林 2022-04-24. 分享. 摘要： 碳化硅陶瓷材料具有良好的耐磨性、导热性、抗氧化性及优异的高温力学性能，被广泛应用于能源环保、化工机械、半导体、国防军工等领域。. 然而，由于 ... 国内外碳化硅陶瓷材料研究与应用进展 CERADIR 先进陶瓷在线Web 结果2022年4月24日 国内外碳化硅陶瓷材料研究与应用进展. 李辰冉;谢志鹏;康国兴;安迪;魏红康;赵林 2022-04-24. 分享. 摘要： 碳化硅陶瓷材料具有良好的耐磨性、导热性、抗氧化性及优异的高温力学性能，被广泛应用于能源环保、化工机械、半导体、国防军工等领域。. 然而，由于 ...
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半导体碳化硅（SIC）功率器件产业链上游细分环节； - 知乎
Web 结果2023年12月8日 半导体碳化硅（SIC）功率器件产业链上游细分环节；. 外延是指在衬底的上表面生长一层单晶材料。. 如果衬底与外延层是 同一种材料， 这种外延层被称作 同质外延； 如果衬底与外延层是 不同的材料， 则称作 异质外延。. 在晶体生长和晶片加工过程中，会不可 ... 半导体碳化硅（SIC）功率器件产业链上游细分环节； - 知乎Web 结果2023年12月8日 半导体碳化硅（SIC）功率器件产业链上游细分环节；. 外延是指在衬底的上表面生长一层单晶材料。. 如果衬底与外延层是 同一种材料， 这种外延层被称作 同质外延； 如果衬底与外延层是 不同的材料， 则称作 异质外延。. 在晶体生长和晶片加工过程中，会不可 ...
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淮安利泰碳化硅微粉与您相约超细粉体加工与检测技术高级 ...
Web 结果2024年3月7日 中国粉体网讯 2024 超细粉体加工与检测技术高级研修班 将于 3月21-22号 在 江苏无锡 举办，淮安利泰碳化硅微粉有限公司邀您一同参加。 公司介绍： 淮安利泰碳化硅微粉有限公司，是中国绿碳化硅微粉行业的企业、国家高新技术企业，拥有国家专利22项，其中发明专利3项。 淮安利泰碳化硅微粉与您相约超细粉体加工与检测技术高级 ...Web 结果2024年3月7日 中国粉体网讯 2024 超细粉体加工与检测技术高级研修班 将于 3月21-22号 在 江苏无锡 举办，淮安利泰碳化硅微粉有限公司邀您一同参加。 公司介绍： 淮安利泰碳化硅微粉有限公司，是中国绿碳化硅微粉行业的企业、国家高新技术企业，拥有国家专利22项，其中发明专利3项。
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每公斤2000~12000 元？这种碳化硅堪称“万金之躯”！-要闻 ...
Web 结果2021年12月4日 这种碳化硅堪称“万金之躯”！. -要闻-资讯-中国粉体网. 【原创】 每公斤2000~12000 元？. 这种碳化硅堪称“万金之躯”！. [导读] 单晶生长用碳化硅为何有如此天价？. 中国粉体网讯 碳化硅是个神奇的材料，无论是低品质还是高品质，都有它的用武之地，甚至在 ... 每公斤2000~12000 元？这种碳化硅堪称“万金之躯”！-要闻 ...Web 结果2021年12月4日 这种碳化硅堪称“万金之躯”！. -要闻-资讯-中国粉体网. 【原创】 每公斤2000~12000 元？. 这种碳化硅堪称“万金之躯”！. [导读] 单晶生长用碳化硅为何有如此天价？. 中国粉体网讯 碳化硅是个神奇的材料，无论是低品质还是高品质，都有它的用武之地，甚至在 ...
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碳化硅 ~ 制备难点 - 知乎
Web 结果2023年3月13日 晶体制备. 由于物理的特性，碳化硅材料拥有很高的硬度，目前仅次于金刚石，因此在生产上势必要在高温与高压的条件下才能生产。. 以PVT法为例，碳化硅晶体制备面临以下困难：. 温场控制困难、生产速度缓慢：以目前的主流制备方法物理气相传输法（PVT）为 ... 碳化硅 ~ 制备难点 - 知乎Web 结果2023年3月13日 晶体制备. 由于物理的特性，碳化硅材料拥有很高的硬度，目前仅次于金刚石，因此在生产上势必要在高温与高压的条件下才能生产。. 以PVT法为例，碳化硅晶体制备面临以下困难：. 温场控制困难、生产速度缓慢：以目前的主流制备方法物理气相传输法（PVT）为 ...
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多达数十家，SiC关键设备企业图谱 - 知乎
Web 结果2024年2月18日 碳化硅的切磨抛既直接关系到衬底加工的效率和产品良率，又能间接降低国产厂商的生产成本，进而对碳化硅的市场推广产生积极影响。从技术路线上来说，国内外切磨抛环节的差距不大，但在设备的精度和稳定性上，国产设备仍需持续发力，以进一步提高市场竞争力。 多达数十家，SiC关键设备企业图谱 - 知乎Web 结果2024年2月18日 碳化硅的切磨抛既直接关系到衬底加工的效率和产品良率，又能间接降低国产厂商的生产成本，进而对碳化硅的市场推广产生积极影响。从技术路线上来说，国内外切磨抛环节的差距不大，但在设备的精度和稳定性上，国产设备仍需持续发力，以进一步提高市场竞争力。
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